个人简介：罗锋，南开大学材料科学与工程学院/电子信息与光学工程学院讲席教授。罗锋现任南开大学材料科学与工程学院讲席教授，西安交通大学兼职讲座教授(2018-2020)。1995 年至 2004 年就读于北京大学化学与分子工程学院，获学士和博士学位。2004年至 2009年在德国和瑞士从事博后工作，2009年至2010年在北京大学工学院担任PI特聘研究员。2010年至2020年就职于西班牙高等研究院纳米研究所，历任副研究员、研究员、终身制资深研究教授，2020 年至今就职于南开大学，先后入选欧盟玛丽居里学者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批国家重大人才项目等，目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员，深圳产业光源集成电路板块顾问，上海光源用户委员会委员，兰州航空集成电路与新材料研究院理事。

      摘要：简要回顾纳米压印技术，重点介绍其用于半导体领域的图案化器件的微/纳米制造和超精密制造。

      个人简历：西安交通大学特聘教授，博士生导师。中组部“万人计划”科技创新领军人才，国家杰出青年基金获得者，科技部中青年科技创新领军人才。获得2014年教育部技术发明一等奖（第一完成人）、2021年陕西省科技进步一等奖（第一完成人）。近年来，围绕国家重大需求，聚焦智能传感与微纳制造领域的基础理论和技术应用研究，主持国家公关项目、重点研发计划、重大专项等十余项，发表论文140余篇，其中SCI收录100余篇，授权发明专利80余项。

      摘要：结构场协同调控纳米压印技术，起源于纳米压印复形方法，微纳结构复形能力从深亚微米提升到亚十纳米的工业化制造。面对智能传感器对纳米级特征、多材料体系的三维微纳结构需求，外能场协同调控材料梯度化分布，实现微纳三维结构的近零压印力约束复制。该技术突破了传统光刻技术的半波长效应，推进了材料-结构-功能一体化微纳器件制造技术的发展，提升了智能感知、微纳传感器、广义芯片等领域的制造能力。

      个人简介：苏州大学研究员，苏州苏大维格科技集团董事长。国家863计划重大项目和国家重大科学仪器专项首席专家。中国工程院院士有效候选人（2013年）。主要研究方向：微纳光学及创新应用。

      摘要：报告介绍微纳智能制造前瞻研究、技术创新和应用现状与展望。

信息光子产业是21世纪战略性产业，“微纳智能制造”是推进信息光子产业（元宇宙）发展的必由之路。

微纳智能制造的核心问题是光场数字化。报告人所在团队经多年努力，建立了“基于数字化三维光刻的微纳智能制造”平台，在海量数据处理算法、微纳结构精确制备、光场调控与重构和智能复制等方面，突破了百Tb数据量实时计算瓶颈、自主研制成功“网络协同的紫外三维计算光刻装备”（全球首台）和“卷对卷套准纳米压印光刻设备”工业运行，列举了微纳智能制造赋能“新型显示（裸眼3D显示）、增强现实AR、平面成像器件和柔性光电子材料”产业创新与应用的实例。

报告认为，“一代装备、一代器件、一代产业”，微纳智能制造正成为信息光电子、光场计算成像和元宇宙等赛道的新引擎，有望催生更多新产品、培育新产业，提升我国信息光子产业自主创新能力与国际竞争力。

      个人简历：深圳大学特聘教授，深圳大学新型金属材料先进制造成型与应用研究中心主任。国家优秀青年基金获得者，主要研究方向为非晶合金的先进制造与应用。在Science Advances等国际期刊上发表学术sci论文60余篇，参与撰写两部英文专著。多次在非晶合金领域国际会议做邀请/口头报告。主持国家自然科学基金、省市级科研项目多项。担任中国电器工业协会非晶合金材料应用分会副秘书长。获得中国非晶与高熵合金杰出青年科学家奖，深圳市海外高层次人才，深圳市优秀教师，深圳大学“荔园优青”等奖励荣誉。

      摘要：利用新型金属非晶态合金超塑性成型机理表现出具有高强度、高精度、高表面光洁度、易于加工成型的优点，通过精确可控的升温系统和快速冷却系统，在超高真空环境下和高温环境下，实现不同材料的微纳精密热力耦合成型。

研究成果主要包括：

1. 新型非晶合金微纳制造成型装备

该设备具有效率高和稳定性好的优点，可大幅提高非晶合金的热塑性成型效率，成型精度。

2.非晶合金的热力耦合制造技术。

该技术包括对材料体系的选择与设计、对工艺参数的精确控制以及径向限位工艺等技术手段，能够有效避免了非晶合金在高温下的晶化、氧化等不良现象带来的影响。

      个人简介：田克汉博士长期从事微纳衍射光学，三维光学系统和半导体精密制造的最前沿研究。田博士于清华大学精密仪器系获得学士和硕士学位，于美国麻省理工学院获得博士学位。田博士曾任职于美国IBM公司TJ Watson研究中心和半导体研发中心，担任资深科学家/研究员（教授级）。田博士回国创立驭光科技，致力于微纳衍射光学器件和三维传感器的研发和产业化工作；为客户提供完整的定制化解决方案，广泛用于智能3D传感识别、机器视觉、AR/VR、智能安防、自动驾驶等众多领域。

      摘要：随着半导体技术的发展，近年来微纳光学在消费电子、安防、车载等很多领域得到广泛应用，尤其在AR和3D领域，报告将主要介绍微纳光学在这些领域的工业化研究和进展。

      个人简介：刘泽博士，武汉大学教授，于2007年获哈尔滨工业大学学士学位，2012年获清华大学博士学位，而后在耶鲁大学从事博士后研究，2015年开始任职武汉大学。其研究领域为微纳制造与表界面科学，相关成果发表学术论文70余篇，申请及授权发明专利10余项，2017年获国家自然科学二等奖。主要学术成绩：在国际上首次报道了微米以上尺度、室内大气环境的近“零”摩擦（结构超滑）运动；发明了通过超塑性变形直接大面积制造各种金属表面纳米结构的技术。

      摘要：传感器是物联网的最底层和最前沿，目前成熟的传感器主要是基于硅电子微加工技术。随着传感器的小型化发展趋势，实验室开发的高性能新材料传感器在走向应用时往往受困于低成本的精密制造技术。本报告将汇报课题组在金属（合金）微纳成型精密制造领域的一些进展，包括金属超塑性纳米模塑技术的开发、力学机理及其应用初探。

      个人简介：冀然，青岛天仁微纳科技有限责任公司董事长，创始人。拥有德国亚琛工业大学硕士学位和德国马普微结构物理所博士学位，师从欧洲纳米压印之父Kurz教授开创了纳米压印设备和材料的商用领域，在纳米压印和微纳加工领域拥有二十年经验。博士毕业后在德国半导体设备上市公司负责纳米压印设备开发和产业化推广，任纳米压印技术首席科学家。2015年归国创办青岛天仁微纳科技有限责任公司，经过短短几年的时间发展，公司的纳米压印设备和全套解决方案打败国际诸多竞争对手，占领国内微纳光学和生物芯片生产的超过90%市场份额。

      摘要：随着纳米压印技术的渐渐成熟，近几年开始越来越多的被应用在微纳光学领域，如衍射光学元件 DOE、微透镜阵列、AR 波导光栅等。微纳光学元件的应用领域非常广泛，如 3D 传感、AR 眼镜、屏下指纹识别、手机摄像头、高端照明、光谱仪、医疗器械等。GremanLitho 有限公司的纳米压印技术提供了12 英寸面积上优于20 纳米精度和 10 比 1 深宽比的纳米光刻全套解决方案，可以被广泛应用在微纳结构产品生产领域。

      个人简介：Andrea Kneidinger是EV集团的业务开发经理，她主要负责微纳米压印光刻技术在应用领域的推广实现，尤其是纳米光子学和圆晶级光学行业。Andrea在Deggendorf科技学院和布达佩斯科技大学学习技术和创新管理专业，并获得了工程硕士学位。在电气工程和产品管理方面，她积累了数年的工作经验，特别是材料学、光学和光子学。

      摘要：近年来，圆晶级纳米压印光刻技术（NIL）逐渐成为驱动整个光子行业新设备和新应用发展的核心动力。光学传感器、增强现实(AR)装置以及生物芯片的先进制造商们已经将NIL技术用于生产，并从中获益，包括以低成本实现微米级和纳米级结构的规模化生产。